ТЕХНИЧЕСКИЙ КЕЙС: Переход на микропорошки белого электрокорунда ООО Хэнань Юймо Новые Материал для финишной обработки кремниевых подложек

Объект исследования: Процесс двусторонней лаппинг-полировки кремниевых пластин (Si-wafers) для полупроводниковой промышленности. Клиент: Научно-производственное объединение (НПО), специализирующееся на микроэлектронике (РФ/СНГ).

1. Исходная ситуация и технологические вызовы

Клиент использовал импортный микропорошок европейского производства. В связи с необходимостью оптимизации затрат и обеспечения стабильности поставок, была поставлена задача найти аналог, который не уступает по качеству, но обеспечивает лучшую экономическую эффективность.

Ключевые проблемы при использовании текущего абразива:

1. Нестабильный гранулометрический состав: Наличие “критических” крупных зерен (oversize), которые оставляли на поверхности пластин царапины глубиной более 2 мкм.
2. Химическая чистота: Повышенное содержание примесей натрия (Na2O) и железа (Fe2O3), что вызывало диффузию ионов в кремний и снижало электрофизические свойства готовых изделий.
3. Низкая седиментационная устойчивость: Порошок быстро выпадал в осадок в составе полировальной суспензии, забивая форсунки подачи.

2. Предложенное решение от ООО Хэнань Юймо Новые Материал

Наши инженеры проанализировали спецификации оборудования (станки типа Peter Wolters) и предложили специализированную марку White Alumina (WA) серии “High Precision” с двойной водной классификацией.

Выбранная фракция: WA F1000 (согласно стандарту FEPA)

Ключевые характеристики продукта:

• Содержание Al2O$:  99.6%
• Контроль формы зерна: Близкая к изометрической (блочная форма), что обеспечивает равномерное распределение давления при полировке.
• Распределение частиц (PSD): Строгое ограничение D99, исключающее наличие зерен крупнее 12 мкм.

3. Этапы реализации и сравнительные испытания

Испытания проводились в три этапа на производственной линии клиента.

Этап А: Анализ микроструктуры

Сравнение под микроскопом показало, что порошок ООО Хэнань Юймо Новые Материал имеет более однородную морфологию зерен. В европейском аналоге наблюдалось до 3% пластинчатых зерен, которые склонны к разрушению и образованию “пыли”, не участвующей в резании.

Этап Б: Мониторинг съема материала (Removal Rate)

При давлении 1.5 кгс/см² и скорости вращения 45 об/мин были получены следующие данные:

• Европейский аналог: 0.72 мкм/мин
• Yumo WA F1000: 0.75 мкм/мин
• Вывод: Абразивная способность нашего порошка оказалась выше на 4% за счет высокой прочности монокристаллов.

Этап В: Оценка качества поверхности (Surface Quality)

После финишной промывки проводилось сканирование поверхности прибором Zygo:

• Шероховатость Ra: Достигнут показатель 0.008 мкм (против 0.012 мкм у старого поставщика).
• Количество дефектов (царапин): Снизилось на 40% благодаря отсутствию агломератов в порошке.

4. Экономический и технологический эффект

Спустя 6 месяцев после перехода на продукцию Юймо, клиент зафиксировал следующие показатели:

1. Снижение процента брака: За счет исключения глубоких царапин выход годных изделий (Yield) увеличился на 3.5%.
2. Экономия на закупках: Прямая стоимость микропорошка оказалась на 22% ниже, чем у европейских дистрибьюторов.
3. Ресурс оборудования: Уменьшение химических примесей позволило увеличить межсервисный интервал систем очистки суспензии на 15%.

5. Заключение инженера

“Данный кейс подтверждает, что при правильном контроле гранулометрического состава и чистоты сырья, микропорошки ООО Хэнань Юймо Новые Материал могут успешно заменять премиальные западные бренды в самых ответственных процессах — от оптики до полупроводников.”

Хотите получить образцы для лабораторного тестирования? Свяжитесь с нашим техническим отделом. Мы подготовим партию порошка с индивидуальным гранулометрическим распределением под ваш запрос.